| 符合条件的223条专利数据 | 专利状态 | 申请人类型 | 缴费截止日 | 授权年 | 更新时间 | |
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发明 2017113512923 基于横向二极管的TSV转接板 半导体集成电路 芯片 1人 |
已下证 | 企业 | ||||
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发明 2018102898417 热板结构 半导体制造设备 加热热度均匀性热板 光刻工艺 微电子机械系统 2人 |
已下证 | 企业 | ||||
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实用 2023202756709 一种晶圆取放装置 半导体晶圆取料 1人 |
已下证 | 企业 |
