发明 202211043323X 一种石墨舟中硅片贴合状态检测装置及其使用方法（光伏设备 光伏电池板 光伏发电 太阳能电池采用石墨舟作为载具）

光伏设备 光伏电池板 光伏发电 1人

H01L21/66 H01L21/677 H01L21/687 H01L31/18

发明 2022115436709 一种高效低成本芯片去胶装置及去胶工艺（电路板 PCB板 半导体 芯片 集成电路 晶片 晶圆）

电路板 PCB板 半导体 芯片 集成电路 2人

B08B5/04 B08B1/00 B08B13/00 H01L21/67 H01L21/02

发明 2019109462333 一种芯片生产用离子注入设备【特价】

芯片 半导体 【芯片 半导体】 1人

H01J37/317 H01L21/67

发明 2018110602509 一种晶圆流片用切割装置（晶圆 晶体 晶片 半导体 芯片 集成电路 电路板 pcb板）

晶圆 晶体 晶片 半导体 芯片 1人

H01L21/67 H01L21/304

发明 2018109592563 晶圆处理装置及其工作方法

（半导体 晶圆 晶片 芯片） 1人

H01L21/68 H01L21/67

发明 2022104053040 一种集成电路封装结构和方法

集成电路 1人

H01L21/673

发明 2018114914092 卡盘销以及卡盘销自清洗装置

卡盘销以及卡盘销自清洗装置 1人

H01L21/687 H01L21/67

发明 2018110079770 晶圆清洗回收机（电路板 PCB板 半导体 芯片 集成电路 晶片 晶圆）

电路板 PCB板 半导体 芯片 集成电路 2人

H01L21/67

发明 2019107820790 一种晶体二极管贴胶纸装置

二极管 3人

H01L21/67

发明 2019104780560 一种晶体管高精封装设备

1人

H01L21/48 H01L21/67

发明 2019101467470 使用喷墨打印的蚀刻设备

（有机导电膜 蚀刻机） 1人

H01L21/67 H05K3/06

发明 2020109834470 一种用于晶体管制造的具有剔除功能的成型装置

1人

H01L21/687 H01L21/48 H01L21/67

发明 2019110916303 一种电子设备组装机构

1人

H01L21/67 H01L21/68

发明 2018104913869 一种二极管酸洗处理系统

1人

H01L21/67 B08B3/04 B08B3/08

发明 2018102898417 热板结构

半导体制造设备 加热热度均匀性热板 光刻工艺 微电子机械系统 2人

H01L21/67

发明 2018106112390 可检测气体泄漏的密闭腔体

半导体衬体 光刻 涂胶工艺 2人

H01L21/67 H01J37/32