发明 202211043323X 一种石墨舟中硅片贴合状态检测装置及其使用方法（光伏设备 光伏电池板 光伏发电 太阳能电池采用石墨舟作为载具）

光伏设备 光伏电池板 光伏发电 光伏设备 光伏电池板 光伏发电 太阳能电池采用石墨舟作为载具 【光伏设备 光伏电池板 光伏发电 太阳能电池采用石墨舟作为载具】 4人

H01L21/66 H01L21/677 H01L21/687 H01L31/18

发明 2020113885117 衬底浓度确定方法、装置、计算机设备及可读存储介质（半导体）

半导体 1人

H01L21/66

发明 202011456803X 一种侦测结构、及STI异常孔洞的侦测方法（集成电路）

集成电路 1人

H01L21/66

发明 201911017300X 一种半导体材料晶片的抛光方法（报过高企、包年费）

一种半导体材料晶片的抛光方法（报过高企 包年费） LED原物料 1人

B24B37/005 B24B37/013 B24B37/04 B24B37/10 B24B49/12 C30B33/00 H01L21/306 H01L21/66

发明 2019105742301 一种离子探测器及其制备方法

离子检测 半导体探测器 掺杂剂 离子能量检测 半导体材料 电子元件 离子探测器 【离子检测 半导体探测器 掺杂剂 离子能量检测 半导体材料 电子元件 离子探测器】 【离子检测 半导体探测器 掺杂剂 离子能量检测 半导体材料 电子元件 离子探测器 集成电路】 【离子检测 半导体探测器 掺杂剂 离子能量检测 半导体材料 电子元件 离子探测器 集成电路】 2人

H01L21/66 G01R27/02

发明 2020106625952 一种用于晶圆检测的除尘装置

半导体制造 电子设备制造 光学仪器制造 科研领域 晶圆检测 2人

B08B1/04 B08B13/00 H01L21/66

发明 2021105449163 一种紫外固晶胶质量评估方法

LED封装 LED灯珠 发光二极管 2人

H01L33/48 H01L21/66 G01N19/04

发明 2024105773033 一种基于物联网的光伏组件用生产装置及系统

物联网 光伏组件 【物联网 光伏组件】 1人

H01L31/048 H01L31/18 H01L21/66 H01L21/67 H04L67/12 G16Y40/10

发明 2024102120092 一种EL 检测系统及EL 检测方法

光伏 太阳能电池板 电池检测 2人

H01L21/66 G01N21/66 G01N21/88 G01N21/95 G06V10/24 G06V10/44 G06V10/764 G06V10/80 G06V10/82 G06N3/0442 G06N3/0464 G06N3/08

发明 2020105515705 一种硅晶圆光阻溶解过程观测装置

微电子 晶圆 硅晶圆 硅晶片 半导体 2人

H01L21/66 G03F7/42

发明 2018101435969 一种硅片清洗前的湿度保持机构

硅片 半导体 晶圆 【半导体 光伏 1人

H01L21/67 H01L21/68 H01L21/66

发明 2024102252693 一种半导体工件制作用检测系统及方法（半导体检测 芯片 集成电路 电路板 pcb板）

半导体检测 芯片 集成电路 电路板 pcb板 1人

H01L21/66 H01L21/67 G01D21/00

实用 2023215787546 一种晶圆检测仪器（半导体，电路，硅晶）

1人

G01B21/08 H01L21/66

发明 2018100102982 一种柔性电子器件形变控制装置及方法

1人

H01L21/66 H01L21/67

发明 2020107098275 一种划片槽线宽监测图形及方法

1人

G03F7/20 H01L21/66

发明 2017109103026 光电探测器自动推送轨道

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H01L31/18 H01L21/66

发明 2021109572491 一种用于芯片的智能检测方法

芯片 智能检测 （芯片 智能检测） 1人

H01L21/66

发明 2021105148166 一种量子芯片封装设备及其封装工艺

1人

H01L21/60 H01L21/66 H01L21/67 H01L21/677

实用 2023225015956 一种半导体测试用拆装式探针卡

半导体 测试 【半导体 测试】 1人

G01R1/073 H01L21/66