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发明 2022101196697 一种二极管元件自动化烧结设备

1人

H01L21/677 H01L21/324 H01L21/67

已下证 企业

发明 2020103606606 一种准分子激光退火设备用基板支撑装置

基本电气元件 半导体器件 基板 晶片 激光退火设备 1人

H01L21/67 H01L21/687 H01L21/268 H01L21/324

已下证 企业