符合条件的2条专利数据 专利状态 申请人类型 缴费截止日 授权年 更新时间

发明 2019107971269 一种光学邻近效应修正方法

半导体 (半导体) 2人

G03F1/36 G03F7/20

已下证 企业

发明 2020111366483 衰减相移掩模版及其制程方法(半导体)

半导体 1人

G03F1/32 G03F1/26 G03F1/54 G03F1/80 G03F1/76

未下证 企业