发明 2019107971269 一种光学邻近效应修正方法
半导体 (半导体) 2人
G03F1/36 G03F7/20
发明 2020111366483 衰减相移掩模版及其制程方法(半导体)
半导体 1人
G03F1/32 G03F1/26 G03F1/54 G03F1/80 G03F1/76