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发明 2020108411962 一种光刻胶去除装置(半导体)

【半导体生产 半导体芯片 芯片制造 集成电路 晶圆加工 光刻胶】 1人

G03F7/42

已下证 企业

发明 2017100044037 一种自动三框曝光机

1人

G03F7/20 G03F9/00

已下证 企业

发明 2022102277032 一种半导体晶圆生产用光刻胶收集杯结构(半导体 晶圆 晶体 电路板 pcb板)

半导体 晶圆 晶体 【半导体 晶圆 晶体 】 2人

B08B1/00 B08B1/02 B08B11/00 B08B13/00 G03F7/16

已下证 个人

发明 2018107549554 一种芯片生产用光刻机

半导体制造 集成电路板 芯片加工 芯片光刻机 3人

G03F7/20

已下证 企业

发明 2020105515705 一种硅晶圆光阻溶解过程观测装置

微电子 晶圆 硅晶圆 硅晶片 半导体 2人

H01L21/66 G03F7/42

已下证 个人

发明 202111009384X 一种锡掺杂氧化铟纳米阵列及其制备方法

微电子 薄膜 半导体材料 导电材料 半导体微电子 2人

C03C17/23 G03F7/20 H01L21/02

已下证 学校

发明 2022100014456 一种悬臂形圆二色性微纳结构及其制备方法

生物技术 微纳结构 手性结构 贵金属 电子束刻蚀 【生物技术 微纳结构 手性结构 贵金属 电子束刻蚀】 物理化学科学研究 分析化学 工业制药 2人

G02B1/00 G02B5/30 G03F7/00 G03F7/16 G03F7/20 G03F7/30 G03F7/40

已下证 学校

发明 2020108535950 一种紫外双波段曝光镜头(光学镜头)

【相机镜头 凹凸透镜 单反 摄像机 光学镜片】 4人

G02B13/22 G03F7/20

未下证 企业

发明 2022113434624 一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机

半导体 涂胶机 显影机 2人

B05C11/08 B05C11/10 B05C13/02 G01B21/30 G03F7/16

已下证 企业

发明 2021100175928 一种目标图形获取方法、装置及相关设备(光刻)

【光学器件 集成电路 半导体器件 光刻 半导体芯片 晶圆加工】 2人

G03F7/20

已下证 企业

发明 2021100007778 一种液晶显示装置用黑矩阵(显示屏 触摸屏 LED屏幕 显示器)

显示屏 触摸屏 LED屏幕 显示器 【显示屏 触摸屏 LED屏幕 显示器】 2人

G03F7/075 G02F1/1335

已下证 个人

发明 2022100068155 一种智能传感器生产加工用压印装置

【传感器 智能制造】 3人

G03F7/00

已下证 个人

发明 2020111366483 衰减相移掩模版及其制程方法(半导体)

半导体 2人

G03F1/32 G03F1/26 G03F1/54 G03F1/80 G03F1/76

已下证 企业

发明 2017100933549 一种复合纳米压印光刻机及工作方法

1人

G03F7/00 B82Y40/00

已下证 学校

发明 2017114147861 一种大尺寸无拼接微纳软模具制造方法

1人

B29C69/00 B29C64/106 B29C39/02 B29C41/08 B33Y10/00 G03F7/00

已下证 学校

发明 2017114080255 一种大尺寸无拼接微纳模具制造方法

1人

G03F7/00 B29C59/02

已下证 学校

发明 2014104591176 一种基于4D打印和纳米压印制造微纳复合结构的方法

15天 1人

G03F7/00

已下证 学校

发明 2018110396249 一种可调式芯片卡具的使用方法

芯片通用 光刻机 集成电路制造 微机电系统 微光学器件 9人

G03F7/20

已下证 学校

发明 2018109029501 一种变焦曝光方法

【蚀刻】 3人

G03F7/20

已下证 企业

发明 2019107971269 一种光学邻近效应修正方法

半导体 (半导体) (电石 碳化钙) 1人

G03F1/36 G03F7/20

已下证 企业
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