发明 2020108535950 一种紫外双波段曝光镜头(光学镜头)

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G02B13/22 G03F7/20

发明 2022100014456 一种悬臂形圆二色性微纳结构及其制备方法

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发明 2021100175928 一种目标图形获取方法、装置及相关设备（光刻）

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发明 2020108411962 一种光刻胶去除装置（半导体）

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G03F7/42

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发明 2019107971269 一种光学邻近效应修正方法

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发明 2020107098275 一种划片槽线宽监测图形及方法

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发明 2021111403148 一种采用退镀工艺制备图案化电极的方法

1人

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发明 2018110396249 一种可调式芯片卡具的使用方法

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G03F7/20

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半导体 1人

G03F1/32 G03F1/26 G03F1/54 G03F1/80 G03F1/76

发明 2022100068155 一种智能传感器生产加工用压印装置

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G03F7/00

发明 2018110396037 一种光刻机小工件卡具

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发明 2018109029501 一种变焦曝光方法

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G03F7/20

发明 2022102277032 一种半导体晶圆生产用光刻胶收集杯结构（半导体 晶圆 晶体 电路板 pcb板）

半导体 晶圆 晶体 1人

B08B1/00 B08B1/02 B08B11/00 B08B13/00 G03F7/16

发明 2020105515705 一种硅晶圆光阻溶解过程观测装置

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H01L21/66 G03F7/42