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实用 202421985809X 一种便于上料的半导体热板光刻设备

1人

G03F7/20 B65G47/74 B65G47/22

已下证 企业

发明 2018110396037 一种光刻机小工件卡具

光刻机 半导体芯片 集成电路 （光刻机 集成电路） 1人

G03F7/20

已下证 学校
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