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发明 2018100570215 一种具有双峰金字塔绒面结构的单晶硅片(单晶硅片、半导体器件、半导体材料、太阳能电池)

单晶硅片 半导体器件 半导体材料 太阳能电池 【单晶硅片 半导体器件 半导体材料 太阳能电池】 6人

C30B29/06 C30B33/10

已下证 企业

发明 2020102773298 一种石英晶片生产专用刻蚀设备及其使用方法

石英晶片生产 半导体器件 1人

H01L21/67 C30B33/10 C30B29/18

已下证 个人

发明 2018104910108 一种晶圆的生产工艺

半导体制造 集成电路板 芯片加工 硅晶片加工 电子元件 4人

C30B33/10 C30B29/06 H01L21/306

已下证 企业