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发明 2018103866697 一种碲镁镉单晶材料的制备方法、单晶材料及其应用

1人

C30B11/00 C30B29/48 C30B33/02

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发明 2018106605275 一种利用反应离子刻蚀制备高效陷光绒面的方法

1人

H01L31/0236 H01L31/18 C30B33/12

已下证 学校

发明 2018100570215 一种具有双峰金字塔绒面结构的单晶硅片(单晶硅片、半导体器件、半导体材料、太阳能电池)

单晶硅片 半导体器件 半导体材料 太阳能电池 3人

C30B29/06 C30B33/10

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实用 2023233970037 一种碳化硅片生产用加热退火装置

碳化硅 【碳化硅】 1人

C30B33/02 F27D9/00 C30B29/36

已下证 企业

发明 2018104910108 一种晶圆的生产工艺

1人

C30B33/10 C30B29/06 H01L21/306

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发明 2020105432967 一种内部球形空腔阵列稳定成形的三维光子晶体制备方法

微纳米 硅基材料 激光加工 芯片 半导体 2人

C30B29/06 C30B33/12 C30B33/04 C30B33/02

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实用 202323223734X 一种用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置

企业 1人

C30B33/02 C30B29/36

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