| 符合条件的6条专利数据 | 专利状态 | 申请人类型 | 缴费截止日 | 授权年 | 更新时间 | |
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发明 2020105432967 一种内部球形空腔阵列稳定成形的三维光子晶体制备方法 微纳米 硅基材料 激光加工 芯片 半导体 3人 |
已下证 | 学校 | ||||
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发明 2020102773298 一种石英晶片生产专用刻蚀设备及其使用方法 石英晶片生产 半导体器件 1人 |
已下证 | 个人 | ||||
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发明 2018100570215 一种具有双峰金字塔绒面结构的单晶硅片（单晶硅片、半导体器件、半导体材料、太阳能电池） 单晶硅片 半导体器件 半导体材料 太阳能电池 【单晶硅片 半导体器件 半导体材料 太阳能电池】 6人 |
已下证 | 企业 | ||||
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发明 2018104910108 一种晶圆的生产工艺 半导体制造 集成电路板 芯片加工 硅晶片加工 电子元件 4人 |
已下证 | 企业 | ||||
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发明 2018106605275 一种利用反应离子刻蚀制备高效陷光绒面的方法 1人 |
已下证 | 学校 | ||||
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实用 202323223734X 一种用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置 企业 1人 |
已下证 | 企业 |
