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发明 2018106605275 一种利用反应离子刻蚀制备高效陷光绒面的方法

1人

H01L31/0236 H01L31/18 C30B33/12

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发明 2020105432967 一种内部球形空腔阵列稳定成形的三维光子晶体制备方法

微纳米 硅基材料 激光加工 芯片 半导体 3人

C30B29/06 C30B33/12 C30B33/04 C30B33/02

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