符合条件的2条专利数据 | 专利状态 | 申请人类型 | 缴费截止日 | 授权年 | 更新时间 | |
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发明 2018106605275 一种利用反应离子刻蚀制备高效陷光绒面的方法 1人 |
已下证 | 学校 | ||||
发明 2020105432967 一种内部球形空腔阵列稳定成形的三维光子晶体制备方法 微纳米 硅基材料 激光加工 芯片 半导体 3人 |
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