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发明 2019113007088 一种p型AlN薄膜及其制备方法与应用

半导体薄膜 LED材料 光电材料 导电薄膜 (半导体薄膜 1人

H01L31/0304 H01L31/0352 H01L31/103 H01L31/18

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发明 2020100323041 一种光电探测器及其制备方法与应用

半导体薄膜 光学通讯 光电材料 光学成像 生物传感器 1人

H01L31/0304 H01L31/0352 H01L31/105 H01L31/18 B82Y30/00

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