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H01L21/265 H01J37/317

发明 2018106459781 镀膜腔室清洗装置及镀膜腔室清洗方法

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H01J37/32 C23C16/44

实用 2021226237447 一种等离子除胶装置（报过高企）

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H01J37/32 H01L21/67 B08B7/00 B08B13/00

发明 2017100008878 高低平弧聚合独门控斜置闭合曲面环边缘阴极结构的发光显示器

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发明 2020107148448 一种冷却系统及其控制方法（半导体芯片）

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发明 2019100827905 LB膜法制备透射电子显微镜载网

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发明 2018101589666 刻蚀电极和边缘刻蚀装置

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H01J37/32

发明 2017100008558 平下弧上张口型独门控环凹面探头多边沿阴极结构的发光显示器

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H01J1/304 H01J29/04 H01J29/46 H01J31/12 H01J9/02 H01J9/20

发明 2017100008539 双斜直喇叭口型门控非对称挂件曲面边沿阴极结构的发光显示器

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H01J31/12 H01J29/04 H01J29/46 H01J1/304 H01J9/02 H01J9/20

发明 2017100009137 多角直弧结合银门控异斜曲面分段大边阴极结构的发光显示器

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H01J1/304 H01J9/02 H01J29/04 H01J29/46 H01J31/12

发明 2017100009298 小弯弧混杂银门控斜置长扇凸边错落阴极结构的发光显示器

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H01J1/304 H01J9/02 H01J9/18 H01J31/12

发明 2021102524336 一种电子轰击成像型光电器件

光电成像器 采集图像 电器件 成像探测器 电子元件 电子器件 电子产品 相机 手机 3人

H01J29/86 H01J29/89 H01J31/26 H01J31/50