符合条件的1条专利数据 专利状态 申请人类型 缴费截止日 授权年 更新时间

发明 2020102796478 一种基于电场效应硅基内腔成形的方法

微纳米 硅基材料 激光加工 芯片 半导体 2人

G06F30/33 G06F115/04

已下证 学校