发明 2020108535950 一种紫外双波段曝光镜头(光学镜头)

【相机镜头 凹凸透镜 单反 摄像机 光学镜片】 3人

G02B13/22 G03F7/20

发明 2021100175928 一种目标图形获取方法、装置及相关设备（光刻）

【光学器件 集成电路 半导体器件 光刻 半导体芯片 晶圆加工】 2人

G03F7/20

发明 2022100014456 一种悬臂形圆二色性微纳结构及其制备方法

生物技术 微纳结构 手性结构 贵金属 电子束刻蚀 【生物技术 微纳结构 手性结构 贵金属 电子束刻蚀】 2人

G02B1/00 G02B5/30 G03F7/00 G03F7/16 G03F7/20 G03F7/30 G03F7/40

发明 2019107971269 一种光学邻近效应修正方法

半导体 （半导体） 2人

G03F1/36 G03F7/20

发明 2020107098275 一种划片槽线宽监测图形及方法

1人

G03F7/20 H01L21/66

实用 2023205469956 一种印刷制版晒版机

印刷工程 晒版机 【印刷工程 晒版机】 2人

G03F7/20 H05K7/20 B08B5/04

发明 2018110396249 一种可调式芯片卡具的使用方法

芯片通用 光刻机 集成电路制造 微机电系统 微光学器件 5人

G03F7/20

发明 2018110396037 一种光刻机小工件卡具

光刻机 半导体芯片 集成电路 （光刻机 集成电路） 2人

G03F7/20

发明 2018109029501 一种变焦曝光方法

【蚀刻】 1人

G03F7/20