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发明 2021110349748 一种用于晶圆铸块成形的熔炉设备(半导体集成电路、晶圆加工、硅晶片、多晶硅)

半导体集成电路 晶圆加工 硅晶片 多晶硅 6人

C30B11/00 C30B29/06

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发明 2021111985416 一种单晶硅炉

单晶硅炉 石英坩埚 单晶硅棒加工 非金属元素 半导体材料生产 1人

C30B15/00 C30B29/06 C30B15/30

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发明 2021104877328 一种基于分层式装料方式的再生多晶硅铸锭工艺

1人

C30B28/06 C30B29/06

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发明 2018100570215 一种具有双峰金字塔绒面结构的单晶硅片(单晶硅片、半导体器件、半导体材料、太阳能电池)

单晶硅片 半导体器件 半导体材料 太阳能电池 【单晶硅片 半导体器件 半导体材料 太阳能电池】 4人

C30B29/06 C30B33/10

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发明 2019109947635 提纯硅的装置(半导体硅 硅片 晶体 芯片)

半导体硅 硅片 晶体 芯片 【半导体硅 硅片 晶体 芯片】 1人

C30B29/06 C30B28/06

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发明 2019108978918 一种多晶硅用具有保温结构的生产设备及其使用方法(坩埚)

坩埚 太阳能电池 光伏组件 半导体芯片 集成电路 1人

C30B28/06 C30B29/06

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发明 2020105432967 一种内部球形空腔阵列稳定成形的三维光子晶体制备方法

微纳米 硅基材料 激光加工 芯片 半导体 3人

C30B29/06 C30B33/12 C30B33/04 C30B33/02

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发明 2018104910108 一种晶圆的生产工艺

1人

C30B33/10 C30B29/06 H01L21/306

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实用 2024207770571 一种单晶炉加热器快速取出工装

【单晶炉】 1人

C30B15/00 C30B29/06

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发明 2017113882598 单晶炉的自动加料装置及其操作方法(单晶炉 单晶硅 半导体 芯片 电路板 PCB板)

【单晶炉 单晶硅 半导体 芯片 电路板 PCB板】 2人

C30B15/02 C30B29/06

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