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发明 2021116136764 一种高功率微波等离子体金刚石膜沉积装置

金刚石膜 化学气相沉积 金刚石加工 【（金刚石膜 化学气相沉积 金刚石加工）】 1人

C23C16/27 C23C16/511 C30B29/04 C30B25/02

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