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发明 2021111985416 一种单晶硅炉

单晶硅炉 石英坩埚 单晶硅棒加工 非金属元素 半导体材料生产 1人

C30B15/00 C30B29/06 C30B15/30

已下证 企业

发明 2024115172771 一种单晶炉循环水冷装置

1人

C30B15/00 C30B29/06 F27D9/00

未下证 企业