发明 2015105121384 一种P掺杂SiC纳米颗粒薄膜及其应用
1人
C23C16/32 C23C16/52 H01J1/304 B82Y30/00 B82Y40/00
发明 202211377218X 一种太赫兹光控纳米线生长自主调制装置及工艺
C23C16/44 C23C16/24 C23C16/52 B22F1/16 B82Y30/00 B82Y40/00