符合条件的2条专利数据 专利状态 申请人类型 缴费截止日 授权年 更新时间

实用 2021231336828 一种用于纳米涂层刀具镀膜加工的辅助定位装置(铣刀,数控刀具)

1人

C23C14/50 C23C16/458

已下证 企业

发明 2022102753293 一种半导体芯片生产用模块化化学气相沉积反应器

半导体芯片生产 集成电路 5人

C23C16/458 C23C16/44 H01L21/687

未下证 个人