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发明 2021106707618 一种基于Cr/Cu双层金属掩膜的硅湿法刻蚀方法

1人

H01L21/308 H01L21/306 B81C1/00 C23C14/16 C23C14/35 C23F1/02 C23F1/18 C23F1/38

已下证 科研院所

发明 2020102025051 一种基于薄膜热电器件供电的压力传感系统及其制备方法

1人

B81C1/00 B81B7/00 B81B7/02 H10N10/17 A61B5/024 G01L1/00

已下证 科研院所

发明 2019109587292 增强散热Cu-Cu2O核壳纳米线阵列自保护电极及制备方法

1人

B81B7/04 B81C1/00

已下证 科研院所

发明 202110992553X 一种微流控芯片核心单元的制备方法

微流控芯片 环境监测 医学诊断 生化分析 (微流控芯片 1人

B81C1/00

已下证 企业

发明 2018107302123 一种基于双向脉冲电源的微纳米电极制备装置及制备方法

1人

B81B1/00 B81C1/00

已下证 学校