发明 2021106707618 一种基于Cr/Cu双层金属掩膜的硅湿法刻蚀方法

1人

H01L21/308 H01L21/306 B81C1/00 C23C14/16 C23C14/35 C23F1/02 C23F1/18 C23F1/38

发明 2016104467591 一种B掺杂SiC纳米线大应变系数高灵敏压力传感器

1人

B81B7/00 G01L1/18 G01L9/06 B81C3/00 B82Y15/00

发明 2020102025051 一种基于薄膜热电器件供电的压力传感系统及其制备方法

1人

B81C1/00 B81B7/00 B81B7/02 H10N10/17 A61B5/024 G01L1/00

发明 2019109587292 增强散热Cu-Cu2O核壳纳米线阵列自保护电极及制备方法

1人

B81B7/04 B81C1/00

发明 2017100272724 一种基于润湿性调控的微纳自组装结构制备方法

1人

B81C1/00 B82Y40/00 B23K26/362

发明 2018110726906 一种基于键合工艺的热式风速风向传感器及其制备方法

1人

G01P5/12 B81B1/00 B81C3/00 G01P13/02

发明 2022103895501 一种改善微测辐射热计中氧化钒与钛电极接触的方法（红外探测及成像领域，广泛用于热敏电阻传感器）

红外探测及成像领域 广泛用于热敏电阻传感器 1人

B81C1/00 G01J5/20

发明 2021105640324 一种基于电场控制 Ag2Ga纳米针阵列成形的制备方法

纳米针 纳米材料 （纳米针 纳米材料） 1人

B81C1/00 B81B1/00

发明 2018107302123 一种基于双向脉冲电源的微纳米电极制备装置及制备方法

1人

B81B1/00 B81C1/00