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发明 2022100014456 一种悬臂形圆二色性微纳结构及其制备方法

生物技术 微纳结构 手性结构 贵金属 电子束刻蚀 【生物技术 微纳结构 手性结构 贵金属 电子束刻蚀】 物理化学科学研究 分析化学 工业制药 2人

G02B1/00 G02B5/30 G03F7/00 G03F7/16 G03F7/20 G03F7/30 G03F7/40

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发明 2017114147861 一种大尺寸无拼接微纳软模具制造方法

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B29C69/00 B29C64/106 B29C39/02 B29C41/08 B33Y10/00 G03F7/00

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