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发明 2021104877328 一种基于分层式装料方式的再生多晶硅铸锭工艺

1人

C30B28/06 C30B29/06

已下证 学校

发明 2021111985416 一种单晶硅炉

单晶硅炉 石英坩埚 单晶硅棒加工 非金属元素 半导体材料生产 3人

C30B15/00 C30B29/06 C30B15/30

已下证 企业

发明 2021110349748 一种用于晶圆铸块成形的熔炉设备(半导体集成电路、晶圆加工、硅晶片、多晶硅)

半导体集成电路 晶圆加工 硅晶片 多晶硅 4人

C30B11/00 C30B29/06

已下证 企业

发明 2017113882598 单晶炉的自动加料装置及其操作方法(单晶炉 单晶硅 半导体 芯片 电路板 PCB板)

【单晶炉 单晶硅 半导体 芯片 电路板 PCB板】 4人

C30B15/02 C30B29/06

未下证 企业