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发明 2019100428498 圆形磁力电极装置及包括其的卷绕式表面改性设备(分案)

卷绕真空镀膜 表面镀膜 表面改性 薄膜表面处理 功能性薄膜 3人

C23C14/56 C23C16/54

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