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发明 2015105121384 一种P掺杂SiC纳米颗粒薄膜及其应用

1人

C23C16/32 C23C16/52 H01J1/304 B82Y30/00 B82Y40/00

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发明 201810678354X 一种用于制备新材料的化学气相沉积装置

新材料 气相 【新材料 气相】 【新材料 化学 气相沉积】 1人

C23C16/455 C23C16/46 C23C16/52

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发明 202211377218X 一种太赫兹光控纳米线生长自主调制装置及工艺

1人

C23C16/44 C23C16/24 C23C16/52 B22F1/16 B82Y30/00 B82Y40/00

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