| 符合条件的2条专利数据 | 专利状态 | 申请人类型 | 缴费截止日 | 授权年 | 更新时间 | |
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发明 2018106459781 镀膜腔室清洗装置及镀膜腔室清洗方法 【镀膜腔室】 【镀膜腔室 镀膜】 4人 |
已下证 | 企业 | ||||
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发明 2022102753293 一种半导体芯片生产用模块化化学气相沉积反应器 半导体芯片生产 集成电路 5人 |
未下证 | 个人 |
