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发明 2017100436531 一种氮化硼刻蚀的方法（无证书原件，有扫描件）

光刻 压印法 电介质材料 氮化硼薄膜蚀刻 薄膜光刻 2人

C23C16/455 C23C16/34 C23C16/56

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