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发明 2016104467591 一种B掺杂SiC纳米线大应变系数高灵敏压力传感器

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B81B7/00 G01L1/18 G01L9/06 B81C3/00 B82Y15/00

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发明 2018110726906 一种基于键合工艺的热式风速风向传感器及其制备方法

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G01P5/12 B81B1/00 B81C3/00 G01P13/02

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