| 符合条件的4条专利数据 | 专利状态 | 申请人类型 | 缴费截止日 | 授权年 | 更新时间 | |
|---|---|---|---|---|---|---|
|
发明 2018106459781 镀膜腔室清洗装置及镀膜腔室清洗方法 【镀膜腔室】 【镀膜腔室 镀膜】 电子 光电 【电子 光电】 2人 |
已下证 | 企业 | ||||
|
发明 2018110568940 离子植入机 半导体器件制造 晶圆离子植入机 晶圆加工 1人 |
已下证 | 企业 | ||||
|
发明 2018101589666 刻蚀电极和边缘刻蚀装置 半导体制造工艺 晶圆刻蚀机 半导体刻蚀机 半导体蚀刻 1人 |
已下证 | 企业 | ||||
|
实用 2021226237447 一种等离子除胶装置（报过高企） 电子基板半导体 【电子基板半导体】 报过高企 1人 |
已下证 | 企业 |
