| 符合条件的4条专利数据 | 专利状态 | 申请人类型 | 缴费截止日 | 授权年 | 更新时间 | |
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发明 2018106459781 镀膜腔室清洗装置及镀膜腔室清洗方法 【镀膜腔室】 【镀膜腔室 镀膜】 4人 |
已下证 | 企业 | ||||
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实用 2021226237447 一种等离子除胶装置（报过高企） 电子基板半导体 【电子基板半导体】 报过高企 1人 |
已下证 | 企业 | ||||
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发明 2018101589666 刻蚀电极和边缘刻蚀装置 半导体制造工艺 晶圆刻蚀机 半导体刻蚀机 半导体蚀刻 1人 |
已下证 | 企业 | ||||
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发明 2018106112390 可检测气体泄漏的密闭腔体 半导体衬体 光刻 涂胶工艺 2人 |
已下证 | 企业 |
