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发明 2020111980634 一种离子布植方法、装置及设备(半导体)

【半导体 集成电路 半导体制程 半导体芯片 离子束流】 2人

H01L21/265 H01J37/317

已下证 企业

发明 2020107148448 一种冷却系统及其控制方法(半导体芯片)

半导体芯片 1人

H01L21/67 H01J37/317

未下证 企业