| 符合条件的3条专利数据 | 专利状态 | 申请人类型 | 缴费截止日 | 授权年 | 更新时间 | |
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发明 2018111665399 一种用于晶圆生产离子注入的控制装置 半导体制造 集成电路制造 晶圆生产 晶圆加工 离子注入 1人 |
已下证 | 企业 | ||||
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发明 2020111980634 一种离子布植方法、装置及设备（半导体） 【半导体 集成电路 半导体制程 半导体芯片 离子束流】 1人 |
已下证 | 企业 | ||||
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发明 2020107148448 一种冷却系统及其控制方法（半导体芯片） 半导体芯片 1人 |
已下证 | 企业 |
