符合条件的1条专利数据 专利状态 申请人类型 缴费截止日 授权年 更新时间

发明 2019109462333 一种芯片生产用离子注入设备【特价】

芯片 半导体 【芯片 半导体】 1人

H01J37/317 H01L21/67

已下证 企业