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发明 2021106249056 一种锁频电磁波源

电磁波振荡器 滤波器 射频微波 脉冲 微波杀菌 4人

H01P5/18 H01J23/14

未下证 企业

发明 2020111980634 一种离子布植方法、装置及设备(半导体)

【半导体 集成电路 半导体制程 半导体芯片 离子束流】 2人

H01L21/265 H01J37/317

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发明 2018106459781 镀膜腔室清洗装置及镀膜腔室清洗方法

【镀膜腔室】 【镀膜腔室 镀膜】 电子 光电 3人

H01J37/32 C23C16/44

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实用 2021226237447 一种等离子除胶装置(报过高企)

电子基板半导体 【电子基板半导体】 报过高企 3人

H01J37/32 H01L21/67 B08B7/00 B08B13/00

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发明 2019102020248 一种检测有毒气体的离子迁移谱仪

空气泵 气体检测 空气检测 【空气泵 气体检测 空气检测】 3人

H01J49/02 H01J49/04 G01N27/62

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发明 2015107523298 一种Au纳米颗粒修饰SiC纳米线场发射阴极

1人

H01J1/304 H01J9/02

已下证 学校

发明 2015105114094 一种N掺杂SiC纳米针及其应用

1人

C23C16/32 B82Y40/00 C30B25/00 C30B29/36 C30B29/62 H01J1/304

已下证 学校

发明 2015105106666 一种N掺杂SiC纳米针柔性场发射阴极材料的制备方法

1人

H01J1/304 H01J9/02 B82Y30/00

已下证 学校

发明 2015104049172 SiC纳米阵列

1人

C30B29/36 C30B1/00 H01J1/304 C01B31/36 B82Y30/00

已下证 学校

发明 2015104040125 调控SiC纳米阵列密度的方法

1人

C30B29/36 C30B1/00 H01J1/304 C01B31/36 B82Y30/00

已下证 学校

发明 2015105106793 P掺杂SiC纳米线在场发射阴极材料中的应用

1人

H01J1/304 C01B31/36 B82Y30/00 B82Y40/00

已下证 学校

发明 2014101763931 一种提高SiC场发射阴极材料高温电子发射稳定性的方法

1人

H01J9/02 B82Y30/00

已下证 学校

发明 2013102309778 SiC柔性场发射阴极材料

1人

H01J9/02

已下证 学校

发明 2015107496214 一种Au纳米颗粒修饰SiC纳米线的制备方法

1人

H01J9/02

已下证 学校

发明 2015105121384 一种P掺杂SiC纳米颗粒薄膜及其应用

1人

C23C16/32 C23C16/52 H01J1/304 B82Y30/00 B82Y40/00

已下证 学校

发明 2015105109857 柔性纳米材料在场发射阴极材料中的应用

1人

H01J1/304

已下证 学校

发明 2019101320635 一种反射式场发射电子光源器件及制备方法

1人

H01J1/304 H01J1/40 H01J63/06

已下证 学校

发明 2019112455250 一种金属钛修饰的三维碳阵列阴极结构及其制备方法

1人

H01J1/304 H01J9/02

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发明 2018103516335 实现对自由飞行区解离碎片分辨的离子速度成像仪

1人

H01J49/40

已下证 学校

发明 201811056409X 探测电子、离子和中性自由基的三极速度成像仪

1人

H01J49/40 H01J49/06

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