| 符合条件的3条专利数据 | 专利状态 | 申请人类型 | 缴费截止日 | 授权年 | 更新时间 | |
|---|---|---|---|---|---|---|
|
发明 2019103731567 基于温差检测的加热控制平台 温差检测 加热控制 2人 |
已下证 | 个人 | ||||
|
发明 2021101348214 一种热盘温度调整方法及一种热盘装置（晶圆） 【半导体器件 集成电路 光学器件 半导体芯片 晶圆加工 芯片制造 光刻】 2人 |
已下证 | 企业 | ||||
|
发明 2016105526493 一种隧道窑环境调节方法及窑内温度自调节装置 1人 |
已下证 | 学校 |
