符合条件的2条专利数据 | 专利状态 | 申请人类型 | 缴费截止日 | 授权年 | 更新时间 | |
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发明 2020111980634 一种离子布植方法、装置及设备(半导体) 【半导体 集成电路 半导体制程 半导体芯片 离子束流】 2人 |
已下证 | 企业 | ||||
发明 2020107148448 一种冷却系统及其控制方法(半导体芯片) 半导体芯片 1人 |
未下证 | 企业 |