批量导出勾选专利
符合条件的1条专利数据 专利状态 申请人类型 缴费截止日 授权年 更新时间

实用 2020222926268 一种具备除尘功能的等离子体刻蚀机

1人

B08B5/04 B08B17/02 H01J37/02 H01J37/305 H01L21/67

已下证 企业