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发明 2020100315717 一种阵列式多孔氧化物薄膜的制备方法

半导体薄膜 光电材料 生物传感器 气敏传感器 （半导体薄膜 3人

B05D1/18 B05D1/22 B05D3/02 B05D7/14 B05D7/24

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